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日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
产品型号: |
PS-7 |
品 牌: |
日本新宇宙COSMOS |
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所 在 地: |
广东深圳 |
更新日期: |
2023-03-02 |
日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
型号:新宇宙式特气检测部 PS-7(半导体工厂用)
特性:专为半导体行业定制,传感器自由更换,维护方便
检测对象:半导体材料气体
检测方式:
特点: 带有气体采样流量自动控制功能
LCD显示,现场状态一目了然
实现小型、轻量化
可简单地更换传感器和采样气路
带有防止传感器单元错误插入的功能
可以设定多样的维护模式
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等
实现了用PDA读取数据
符合CE规格,SEMI规格
日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
型号规格
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PS-7 |
基准型
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附带转换器组件型 |
检查原则
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•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
•热分解+定电位电解式 |
采样系统方案
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泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制) |
采样系统配管
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特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
有机废气气体溶液浓度彰显
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液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图 |
警报触点
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•气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
•流量降低报警 堵塞指示显示:流量显示为低速运转 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 CONV.显示 |
异常工作输出
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气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位) |
适宜拖链电缆电线
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控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露) |
的使用外接电源
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DC24V±10% |
耗电量电力设备
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约7w |
面积
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•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) |
重量体积
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约1.0kg |
的安装方式
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壁挂式 |