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日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
型号：新宇宙式特气检测部 PS-7（半导体工厂用）
特性：专为半导体行业定制，传感器自由更换，维护方便
检测对象：半导体材料气体
检测方式：
特点： 带有气体采样流量自动控制功能
LCD显示，现场状态一目了然
实现小型、轻量化
可简单地更换传感器和采样气路
带有防止传感器单元错误插入的功能
可以设定多样的维护模式
组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等
实现了用PDA读取数据
符合CE规格，SEMI规格
日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪

形号	PS-7
标淮型	附带转换器组件型
的检测的基本原理	•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 •热分解+定电位电解式
采样系统方式	泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制）
取样配管	特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
气休盐浓度体现	液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图

报警灯触头	•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 •流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示
外部结构模拟输出	气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位）
比较合适通信电缆电线	控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）
动用24v电源	DC24V±10%
所耗供电	约7w
长宽高	•W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
权重	约1.0kg
装置做法	壁挂式